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LTPS

LTPS技术
何谓LTPS?

低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon)是平板显示器领域中的又一新技术。继非晶硅(Amorphous-Silicon,以下以a-Si代称)之后的下一代技术。

Polysilicon (多晶硅) 是一种约为0.1至数个um大小、以硅为基底的材料,由许多硅粒子组合而成。在半导体制造产业中,多晶硅通常经由LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)处理后,再以高于900C的退火程序,此方法即为SPC (Solid Phase Crystallization) 。然而此种方法却不适合用于平面显示器制造产业,因为玻璃的最高承受溫度只有650℃。因此,LTPS技术即是特別应用在平面显示器的制造上。

特点

LTPS-TFT LCD具有高分辨率、反应速度快、高亮度、高开口率等优点,加上由于LTPS-TFT LCD的硅结晶排列较a-Si有次序,使得电子移动率相对高100倍以上,可以将外围驱动电路同时制作在玻璃基板上,达到系统整合的目标、节省空间及驱动IC的成本

LTPS与a-Si 相比所持有的显著优点

1、把驱动IC的外围电路集成到面板基板上的可行性更强;

2、反应速度更快,外观尺寸更小,联结和组件更少;

3、面板系统设计更简单;

4、面板的稳定性更强;

5、解析度更高

LTPS技术


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